真空燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進行，燒結(jié)時需要對燒結(jié)溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行的控制。 真空燒結(jié)爐是在真空或保護氣氛條件下，利用中頻感應(yīng)加熱的原理使硬質(zhì)合金刀頭及各種金屬粉末壓制體實現(xiàn)燒結(jié)的成套設(shè)備，是為硬質(zhì)合金、金屬鏑、陶瓷材料的工業(yè)生產(chǎn)而設(shè)計的。
真空燒結(jié)爐主要用于硬質(zhì)合金、粉沫冶金行業(yè)生產(chǎn)各種粒度的碳化鎢粉、碳化鈦粉、碳化釩粉等金屬粉沫及復(fù)合金屬粉沫。該系統(tǒng)對碳化硅質(zhì)量有明顯改善，與傳統(tǒng)碳化爐相比，具有反應(yīng)*、粒度均勻、化合含碳量高、游離含碳量低等優(yōu)勢，而且產(chǎn)量高、抗疲勞條件好、使用壽命長。
真空燒結(jié)爐的溫度控制系統(tǒng)的規(guī)格是什么：
1.溫度控制： PID自動控制溫度，數(shù)字顯示（可編程度30段曲線；全自動升溫、保溫、降溫）上限報警、偏差報警、程序運行結(jié)束自動停止、無需人值守（可做成一鍵抽真空升降溫，全程PLC控制）
2.溫控儀表線性電流輸出，觸發(fā)器移相觸發(fā)反并聯(lián)雙向可控硅。
3.控溫?zé)犭娕疾捎肧分度熱電偶
4.警報動作：
a.超溫報警：爐內(nèi)溫度上升達到報警溫度時，自動切斷電源，報警提示燈亮。
b.斷偶報警：熱電偶開路，儀表報警并自動斷電。
